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サービス/製品一覧SERVICE&PRODUCTS


「半導体製造装置関連消耗部品」

半導体製造装置各種消耗部品をご提供いたします。
QUARTZ (溶融石英/合成石英)部品
SILICON 部品
SIC部品等

CERAMIC HEATER & MCA HEATER
●TEL Trias Heater


「半導体製造装置関連各種部品の修理」

半導体製造装置関連各種部品の修理、メンテナンスを行います。
Mass Flow Controller修理&中古品
高周波電源の修理&中古品
Matching Box修理&中古品
各種PUMPの修理&中古品
●クライオポンプシールキット M350 Seal Kit

各種MOTORの修理&中古品
各種基板/ボードの修理&中古品販売
●AMAT V452 SBC BOARD 0090-76133(製造中止品、
新品供給可能





●AMAT STEPPER DRICE 0100-00003 

●DIGITAL I/O CARD PCB 0100-11002


NOVELLUS MC1,MC3, IOC修理/新品



「在庫品販売&修理exchange」
●AE社製 RFG5500




●AMAT P5000 CVD用RF MATCH P/N:0010-09750





●RFPP /RF5S 13.56MHz RF MATCH 3150004-027C SEI196


●ENI MODEL:MW-5DM11


●AMAT 0010-60005 SUSCEPTOR



●AMAT 0010-02738 P-CHUCK ASSY


●AE DC PINNACLE PLUS+10K


バナースペース

KAT株式会社

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