半導体製造装置各種消耗部品をご提供いたします。
QUARTZ (溶融石英/合成石英)部品
SILICON 部品
SIC部品等
CERAMIC HEATER & MCA HEATER
●TEL Trias Heater
半導体製造装置関連各種部品の修理、メンテナンスを行います。
Mass Flow Controller修理&中古品
高周波電源の修理&中古品
Matching Box修理&中古品
各種PUMPの修理&中古品
●クライオポンプシールキット M350 Seal Kit
各種MOTORの修理&中古品
各種基板/ボードの修理&中古品販売
●AMAT V452 SBC BOARD 0090-76133(製造中止品、新品供給可能)
●AMAT STEPPER DRICE 0100-00003
●DIGITAL I/O CARD PCB 0100-11002
NOVELLUS MC1,MC3, IOC修理/新品
「在庫品販売&修理exchange」
●AE社製 RFG5500
●AMAT P5000 CVD用RF MATCH P/N:0010-09750
●RFPP /RF5S 13.56MHz RF MATCH 3150004-027C SEI196
●ENI MODEL:MW-5DM11
●AMAT 0010-60005 SUSCEPTOR
●AMAT 0010-02738 P-CHUCK ASSY
●AE DC PINNACLE PLUS+10K
〒173-0004
東京都板橋区板橋1-43-11 KAWANOビル202
TEL 03-5944-1667
FAX 03-5944-1668