半導体製造装置関連 KAT株式会社

半導体製造業装置関連消耗部材及びメンテナンス事業

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MFC, INJECTION VALVE
定額修理&短納期代替品

各メーカーのMFC/IV対応可能

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  • AERA
  • HORIBA
  • UNIT
  • TYLAN
  • その他特殊

例)SAM/SFC-670, UFC-8161 等

MODEL LIST
 

HORIBA STEC MFC
SEC-7330/ SEC-7340/ SEC-7350/ SEC-7440
SEC-4400/ SEC-4401/ SEC-4500/ SEC-4550/ SEC-4600
SEC-Z511/ SEC-Z512/ SEC-Z514
SEC-F730/ SEC-V110 
SEC-Z522/SEC-Z313M

SV-P1203

UNIT MFC
UFC-8165
UFC-8160

AERA MFC
FC-770AC/ FC-780C/ FC-781C/ FC-771AC
FC-7700CU/ FC-7710CU/ FC-R7710DC/ FC-7810CU
FC-D980C/ FC-D981SBC
FC-790C/ FC-791C
FC-261J/ FC-485CV
FC-985BF 

MKS MFC
MKS MFC 1159B/1179A/1259C


LX-1200
 

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