半導体製造装置関連 KAT株式会社

半導体製造業装置関連消耗部材及びメンテナンス事業

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各種CHILLER修理、
CHILLER修理、O/H用部品
（VALVE, COMPRESSOR)

各種CHILLERの修理

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SMC
INR-498
RISSHI
更新中。。。

各メーカーコンプレッサー

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COMPRESSORS

★Panasonic Compressor　
　型式: C-1RHN43E3A
 
★Copeland Compressor
　型式：ZF48K4E-TWC-551
　　　: ZF09K4E-TF5-231
　　  ：ZRD72KCE-TF5-522
 
★Toshiba Compressor
　型式：TS660J2N
　　　：TF510J2N
　　　：TS300J2N
　　　：TS480J2N
　　　：TS200J1N

CTI-CRYOGENICS ADSORBER

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修理対応可能

新品供給可能

＊装置名、コンプレッサー型番確認必要

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    P5000 ROBOT

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    MFC,LFC

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    Controllers

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    ARM

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    RF電源

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    MOTOR、ACTUATOR

  • ソケット

    SOCKET

  • 基盤

    BOARD

  • ICチップ

    IC CHIP