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PUMP修理、O/H済み中古品
O/H KIT、ADSORBER等
消耗部品
CRYO PUMP/ DRY PUMP/TURBO PUMP
修理及びO/H済み中古品
☆ PFEIFFER: TMH-261/ TMH-1600C/ TMH-2101PCX etc.
☆ EDWARDS : STP-301C/ STP-1000C/ STP-H2000C etc.
☆ OSAKA
☆ LEYBOLD: TMP-361C
CRYO PUMP
☆ BROOKS: OB-8F/ OBIS-8F/ OBIS-250F/ OBIS-320FE etc.
☆ ULVAC: U-6H/U-8H/U-10PU etc.
PUMP O/H
O/H済み中古PUMP
PUMP O/H用KIT（BEARING、O-RING etc...)
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各サイズBEARING ORDER MADE可能 -
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EBARA A70W O/H KIT
CTI-CRYOGENICS ADSORBER
修理対応可能
新品供給可能
＊装置名、コンプレッサー型番確認必要
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P5000 ROBOT
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MFC,LFC
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Controllers
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ROBOT
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ARM
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RF電源
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MOTOR、ACTUATOR
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SOCKET
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BOARD
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IC CHIP
