半導体製造装置関連 KAT株式会社

半導体製造業装置関連消耗部材及びメンテナンス事業

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Ozone関連　修理 & Ex Change & 販売

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MKS/Astex製 Ozone Generator
・AX8200A
・AX8203A
・AX8560-7100

IN USA製
O3 Controller
・SCI PLUS

O3 Flow Sensor
・gFFOZ

OWJ APCVD O3 Analyzer
・H1-X BNC

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    P5000 ROBOT

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    MFC,LFC

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    Controllers

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    MOTOR、ACTUATOR

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