各メーカーの高周波電源、マッチャ修理＆O/H済み品
① 高周波電源（RF Generator 13.56MHz）
• PFG-1600（13.56MHz / 1.6kWクラス）
• AE LFGS1250D
• AE PDX-2500（13.56MHz / 2.5kWクラス）
• AE PDX5000
• OB1-03
• NOVA-25A / GMW-2A
• RFG-1250 / RFG-1251
▼ 低～中出力帯（1～3kWクラス）
• PFG-1600（13.56MHz / 1.6kWクラス）
• AE LFGS1250D
• AE PDX-2500（13.56MHz / 2.5kWクラス）
• AE PDX5000
• OB1-03
• NOVA-25A / GMW-2A
• RFG-1250 / RFG-1251
▼ 低～中出力帯（1～3kWクラス）
▼ 中～高出力帯（3～6kWクラス）
• RFG-1600
• RFG-3000
• RFG-5500
• NOVA-50A / GHW-50A / GHW-85A
• APEX 5513（13.56MHz / 5.5kWクラス）
② マッチングユニット（Match / Smart Match）
▼ AE（Advanced Energy）
• MERCURY
• NAVIGATOR
• AZX Series
▼ AMAT（Applied Materials）
• P-500
• HE MATCH
• PVD HE MATCH
▼ MKS / ENI
• MWD-25LD
• MW2-500340
• ENCL MATCH
▼ TRAZAR / PINNACLE POWER
• TRAZAR AMU2-1 / SRN Series
• PINNACLE 5K MN 3152535-351H
③ マイクロ波電源（2.45GHz Microwave Power）
• 3kW Magnetron Head
• 3kW Smart Power
• 3kW Smart Match
• 1.5kW Smart Match
• SXHRHC（1.5kW Magnetron Head）
④ 低周波／特殊電源（Low Frequency / Others）
• LVF-3527 / LVF-3560
• LVG-3527 / LVG-3560
• LMF5002
• LVF/LVG その他 C13002 / C13005
• TR3000
• Cesar Series
• DAIHEN AMN-30C9
| Tool | Tool Model | Model | Remark |
| PSK | TERA21 | FI20606 | Smart match |
| FI20160-1 | Smart match | ||
| FI20162-1 | 3KW Magnetron head | ||
| LAM | VERSYS | FI20606 | Smart match |
| FI20160-3 | 3KW Smart power | ||
| FI20162-3 | 3KW Magnetron head | ||
| PSK | DAS-3 | FI20606 | Smart match |
| FI20160-1 | Smart match | ||
| FI20162-1 | 3KW Magnetron | ||
| AMAT | DPS-METAL | SXRHC,FI10002 | 1.5KW Magnetron head |
| AX2115 | 1.5KW Generator | ||
| FI20045 | Smart match |
Kyosan Power supply HPK1R5-15
COMDEL CB500
☆ADL ☆COMDEL ☆ADTEC ☆COMET ☆AE ☆AMAT ☆DAIHEN ☆MATTSON
☆HUTTINGER ☆TRAZER ☆KYOSAN ☆PLAMART ☆NPP ☆MKS ☆PEARL ☆AKT ☆ASTECH ☆EQ Bestech ☆RFPP ☆ULVAC etc...
COMDEL CB500
☆ADL ☆COMDEL ☆ADTEC ☆COMET ☆AE ☆AMAT ☆DAIHEN ☆MATTSON
☆HUTTINGER ☆TRAZER ☆KYOSAN ☆PLAMART ☆NPP ☆MKS ☆PEARL ☆AKT ☆ASTECH ☆EQ Bestech ☆RFPP ☆ULVAC etc...
