各メーカーの高周波電源、マッチャ修理＆O/H済み品
① 400KHz / Low Frequency系
▼ AE
• Cesar-2710
• Cesar-2720
• DTG-2710
▼ MKS / ENI
• Vertiq
② 2MHz系
▼ AE
• Cesar-1310
• Cesar-1312
• Cesar-133
• Cesar-136
▼ MKS / ENI
• RFX-600
• RFX-600A
③ 高周波電源（RF Generator 13.56MHz）
• PFG-1600（13.56MHz / 1.6kWクラス）
• AE LFGS1250D
• AE PDX-2500（13.56MHz / 2.5kWクラス）
• AE PDX5000
• OB1-03
• NOVA-25A / GMW-2A / GHW-25A
• RFG-1250 / RFG-1251
• MKN-152-3S9N-PS
• MKN-152-3S9N03-PS
• MKN-152-3S9N-OSC
• MKN-102-3S2-PS
• MKN-032
• MKN-302-3S3C03－OSC
• MKN-021-1
• MKN-502-3S2A03-PS
• MKN-206-3S2A04-PS
▼ 低～中出力帯（1～3kWクラス）
▼ AE
• Cesar-2710
• Cesar-2720
• DTG-2710
▼ MKS / ENI
• Vertiq
② 2MHz系
▼ AE
• Cesar-1310
• Cesar-1312
• Cesar-133
• Cesar-136
▼ MKS / ENI
• RFX-600
• RFX-600A
③ 高周波電源（RF Generator 13.56MHz）
• PFG-1600（13.56MHz / 1.6kWクラス）
• AE LFGS1250D
• AE PDX-2500（13.56MHz / 2.5kWクラス）
• AE PDX5000
• OB1-03
• NOVA-25A / GMW-2A / GHW-25A
• RFG-1250 / RFG-1251
• MKN-152-3S9N-PS
• MKN-152-3S9N03-PS
• MKN-152-3S9N-OSC
• MKN-102-3S2-PS
• MKN-032
• MKN-302-3S3C03－OSC
• MKN-021-1
• MKN-502-3S2A03-PS
• MKN-206-3S2A04-PS
▼ 低～中出力帯（1～3kWクラス）
▼ 中～高出力帯（3～6kWクラス）
• RFDS-1250
• RFDS-A
• RFG-1250
• RFG-1250 Halo
• RFG-1251
• RFG-1600
• RFG-2000-2V
• RFG-3000
• RFG-5500
• NOVA-50A / GHW-50A / GHW-85A
• APEX 10KW/13
• APEX 1513
• APEX 2013
• APEX 3013
• APEX 5513（13.56MHz / 5.5kWクラス）
• Aspect 2513
• Aspect 5013
• Paramount 3013
• Paramount 5013
④ マッチングユニット（Match / Smart Match）
▼ ULVAC
• MBX-1310A
▼ AE（Advanced Energy）
• MERCURY
• NAVIGATOR
• AZX Series
▼ AMAT（Applied Materials）
• P-500
• HE MATCH
• PVD HE MATCH
▼ MKS / ENI
• MWD-25LD
• MW2-500340
• ENCL MATCH
▼ TRAZAR / PINNACLE POWER
• TRAZAR AMU2-1 / SRN Series
• PINNACLE
• PINNACLE 5K MN 3152535-351H
• PINNACLE 6K
• PINNACLE 10K
• PINNACLE 15K
• PINNACLE 20K
⑤ マイクロ波電源（2.45GHz Microwave Power）
• 3kW Magnetron Head
• 3kW Smart Power
• 3kW Smart Match
• 1.5kW Smart Match
• SXHRHC（1.5kW Magnetron Head）
⑥ 低周波／特殊電源（Low Frequency / Others）
• HFV-8000
• Hilight-133
• LVF-3527 / LVF-3560
• LVG-3527 / LVG-3560
• LMF5002
• LVF/LVG その他 C13002 / C13005
• TR3000
• Cesar Series
• DAIHEN AMN-30C9
▼ MKS / ENI
• MDX-5K
• MDX-10K
• MDX-20K
• MDX-HALO
• MDX-L6
• MDX-L12
• MDX-L12M
• MDX-L12M-650
• MDX-L18M
▼ AE/AMAT
• PDX-500
• PDX-900
• PDX-900-2V
• PDX-1400
• PDX-2500
• PDX-5000
• PDX-8000
• PDW-600
• PDW-2200
• PE-1000
• PE-2500
■ 装置別対応リスト（追加）
▼ PSK / TERA21
• FI20606：Smart Match
• FI20160-1：Smart Match
• FI20162-1：3kW Magnetron Head
▼ LAM / VERSYS
• FI20606：Smart Match
• FI20160-3：3kW Smart Power
• FI20162-3：3kW Magnetron Head
▼ PSK / DAS-3• FI20606：Smart Match
• FI20160-1：Smart Match
• FI20162-1：3kW Magnetron
▼ AMAT / DPS-METAL• SXRHC, FI10002：1.5kW Magnetron Head
• AX2115：1.5kW Generator
• FI20045：Smart Match
■ その他（関連電源）• Kyosan Power Supply HPK1R5-15
• COMDEL CB500
• COMDEL CB250
• COMDEL CPS-1001S
☆ADL ☆COMDEL ☆ADTEC ☆COMET ☆AE ☆AMAT ☆DAIHEN ☆MATTSON
☆HUTTINGER ☆TRAZER ☆KYOSAN ☆PLAMART ☆NPP ☆MKS ☆PEARL ☆AKT ☆ASTECH ☆EQ Bestech ☆RFPP ☆ULVAC etc...
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