半導体製造装置関連 KAT株式会社

半導体製造業装置関連消耗部材及びメンテナンス事業

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RF電源、DC電源、MATCH、Micro Wave電源
修理及びO/H済み中古品

各メーカーの高周波電源、マッチャ修理&O/H済み品

画像1
Genesis series
MKS/ENI高周波電源:
NOVA-50A / GHW-50A / NOVA-25A/GMW-2A/
OB1-03 / OEM Series / DOFBC2-083 / DOFBC2-084

RFG series
RFG-1250 / RFG-1251 / RFDS-1250 / RFDS-1251
RFG-3000 / RFG-5500

RFG series

LVF/LVG series
LVF-3527 / LVF-3560 / LMF5002 / LVG-3527 / LVG-3560
その他C13002/C13005/ TR3000 /Cesar Series

MATCH series
MKS: MWD-25LD/MW2-500340/ENCL MATCH
AE  : MERCURY/NAVIGATOR/AZX SERIES
AMAT: P-500/ HE MATCH/ PVD HE MATCH
TRAZAR: AMU/SRN SERIES
MINI MATCH/AMVG SERIES

Micro Wave Series
SXHRHC(1.5Magnetron Head)
-1.5KW SMART MATCH
3KW SMART MATCH
-3KW SMART POWER
-3KW MARGNETRON HEAD
Tool Tool Model Model Remark
PSK TERA21 FI20606 Smart match
FI20160-1 Smart match
FI20162-1 3KW Magnetron head
LAM VERSYS FI20606 Smart match
FI20160-3 3KW Smart power
FI20162-3 3KW Magnetron head
PSK DAS-3 FI20606 Smart match
FI20160-1 Smart match
FI20162-1 3KW Magnetron
AMAT DPS-METAL SXRHC,FI10002 1.5KW Magnetron head
AX2115 1.5KW Generator
FI20045 Smart match
 
Kyosan Power supply HPK1R5-15

☆ADL ☆COMDEL ☆ADTEC  ☆COMET ☆AE ☆AMAT ☆DAIHEN ☆MATTSON
☆HUTTINGER  ☆TRAZER ☆KYOSAN ☆PLAMART ☆NPP ☆MKS ☆PEARL ☆AKT ☆ASTECH ☆EQ Bestech ☆RFPP ☆ULVAC etc...

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