HEATER & ESC 修理再生のことならKAT株式会社

各メーカーのHEATER & ESC

150mm MCA E-Chuck Heater
0190-00451	0010-01456	0010-22165

200mm MCA E-Chuck Heater
0010-13895	0010-04451	0010-22169
0010-01196	0010-03361	0010-12516
0010-01286	0010-03254	0010-01166
0010-04450

300mm MCA E-Chuck Heater
0010-51269	0010-47927	0010-23066
0010-22985	0010-27430	0010-27431
0010-56201	0010-54667	0010-27983

300mm Puck ESC / Pedestal
E-Chuck Plate
0010-31581	0010-44940	0010-33488
Pedestal	0010-42030

0010-03840 (0010-25415, 0010-61428)
0010-03843 (0010-63224, 0040-37010)
0010-02342 (0010-02467) / 0010-02343

0010-03244 / 0010-03346 / 0010-03254
0100-03348 / 0010-05257
0010-11491(0010-04542) / 0010-04542M
0010-13703 / 0010-04449M
0010-21530 / 0010-25735 / 0010-28715

LAM 8"
718-094523-282	718-094523-281	718-092326-081	718-043893-801
LAM 6"
718-094523-261	718-094523-26	718-092326-061	718-094756-061

TEL 8"
16-271392-00	1885-022352-13	1810-121603-11	1810-121613-11
1810-121188-11	1810-121189-12	1D10-100956-12
TEL 6"
1810-121296-12		1885-022353-1

AMAT 8"
0010-10328	0010-10327	0040-99949
0020-32909	0090-35112	0020-38733
0020-39834	0010-01704	0090-35133
AMAT 6"
0020-3486	0020-99952	0010-1098
AMAT 8"/ 6"
0010-10527	0040-09956	0040-99964

11F5244 300MM ESC / 11E3612 300MM ESC

Ulvac 1040495 High temp / Low temp
Inner Burning Heater 12Inch Kokusai　0010-70254
912085-0001 IR Dry heater 6Inch,8Inch
0010-05692 / 0010-37945 / 0010-11997
0010-24970 / 0010-05254

Ceramic Dome
02-408502-00
02-307391-00

Centura TXZのリットカバー
・0030-20101
・0010-36889