半導体製造装置関連 KAT株式会社

半導体製造業装置関連消耗部材及びメンテナンス事業

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HEATER & ESC 修理再生
HEATER & ESC REPAIR

各メーカーのHEATER & ESC

0010-03840 (0010-25415, 0010-61428)
0010-03843 (0010-63224, 0040-37010)
0010-02342 (0010-02467) / 0010-02343

0010-03244 / 0010-03346 / 0010-03254
0100-03348 / 0010-05257
0010-11491(0010-04542) / 0010-13703
0010-21530 / 0010-25735 / 0010-28715

11F5244 300MM ESC / 11E3612 300MM ESC

Ulvac 1040495 High temp / Low temp
Inner Burning Heater 12Inch Kokusai
0010-70254
912085-0001 IR Dry heater 6Inch,8Inch
0010-05692 / 0010-37945 / 0010-11997
0010-24970 / 0010-05254

Seramic Dome 02-408502-00

Centura TXZのリットカバー
・0030-20101
・0010-36889