HEATER & ESC 修理再生のことならKAT株式会社

HEATER & ESC 修理再生
HEATER & ESC REPAIR

各メーカーのHEATER & ESC

150mm MCA E-Chuck Heater
0190-00451	0010-01456	0010-22165

200mm MCA E-Chuck Heater
0010-13895	0010-04451	0010-22169
0010-01196	0010-03361	0010-12516
0010-01286	0010-03254	0010-01166
0010-04450

300mm MCA E-Chuck Heater
0010-51269	0010-47927	0010-23066
0010-22985	0010-27430	0010-27431
0010-56201	0010-54667	0010-27983

300mm Puck ESC / Pedestal
E-Chuck Plate
0010-31581	0010-44940	0010-33488
Pedestal	0010-42030

0010-03840 (0010-25415, 0010-61428)
0010-03843 (0010-63224, 0040-37010)
0010-02342 (0010-02467) / 0010-02343

0010-03244 / 0010-03346 / 0010-03254
0100-03348 / 0010-05257
0010-11491(0010-04542) / 0010-13703
0010-21530 / 0010-25735 / 0010-28715

11F5244 300MM ESC / 11E3612 300MM ESC

Ulvac 1040495 High temp / Low temp
Inner Burning Heater 12Inch Kokusai
0010-70254
912085-0001 IR Dry heater 6Inch,8Inch
0010-05692 / 0010-37945 / 0010-11997
0010-24970 / 0010-05254

Ceramic Dome
02-408502-00
02-307391-00

Centura TXZのリットカバー
・0030-20101
・0010-36889