半導体製造装置関連 KAT株式会社

半導体製造業装置関連消耗部材及びメンテナンス事業

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余剰在庫販売


当社では、半導体製造装置向けの各種中古部品・余剰在庫品・生産中止部品を取り扱っております。


RF電源、Matching Box、TMP、Valve、ESC関連、各種Controller、PLC基板など

 

主な取扱品目

RF / DC電源・Controller

  • ENI
  • RFPP
  • KYOSAN
  • ADVANCE HIVOLT
  • SPELLMAN
  • GLASSMAN
  • SEN関連電源

 


Pump / Valve / TMP関連

  • EDWARDS TMP
  • SHIMADZU TMP
  • OSAKA Vacuum
  • VAT Valve
  • NSK Throttle Valve

 


ULVAC ZX-1000関連部品

  • RF Controller
  • RF Generator
  • TMP Controller
  • MFC
  • Gate Valve
  • ESC P/S
  • Manometer

 


LAM / DNS / Implant Parts

  • CPU Board
  • Servo Amp
  • Harmonic Parts
  • Wafer Edge Detector
  • Bellows
  • AC Servo Motor
  • Cool Plate / Hot Plate

ご案内

  • 在庫数量・在庫状況は随時変動しております。
  • 掲載中の商品でも売約済みの場合がございます。
  • 価格につきましてはお問い合わせください。
  • 中古品・2nd品を含むため、状態や仕様は個別確認となります。
  • 一部製品はO/H済み品もございます。

 
OSAKA Vacuum TG373MV-02  SHIMADZU  TMP-203LM
EDWARDS TMP Cont  SCU-800 SHIMADZUTMP Cont  EI-1003M
SHIMADZUTMP Cont  EI-1002M EDWARDS TMP  STP-H200C
VAT  65 NSK Throttle Valve  0010-39645
スクリーンショット 2026-05-27 152144
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3700-01371 0680-01219 0020-20123 3700-01044
3700-01372 0680-01219 0020-20123 3700-01055
3700-01375 0870-00035 0020-20123 3700-01155
3700-01387 0680-01258 0020-20499 3700-01208
3700-01427 0190-13035 0020-20522 3700-01245
3700-01428 3700-01114 0020-20666 3700-01272
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3700-01478 0020-21705 0020-20726 3700-01377
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3700-01506 0020-22570 0020-21804 3700-01394
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3700-01550 CQ2WB50-PS 0090-20139 3880-01175
3700-01582 CQ2WB63-PS 0150-20143 3880-01178
3700-01597 CQ2WB80-PS 0150-20143 3880-01288
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3700-01615 0150-75152 0690-01121 0020-24236
3700-01625 0150-21770 1270-01191 0650-00251
3700-01639 0150-21146 3320-01057 0015-20035
3700-01644 0150-21225 3500-01048 0020-20113
3700-01657 0150-21093 3500-01051 0020-20114
3700-01707 0190-70059 3500-01157 0020-20117
3700-01723 0010-21803 3690-01854 0020-20119
3700-01740 0020-13126 3690-01863 0020-20126
3700-01747 0020-13126 3690-01884 0020-20770
3700-01756 0020-21486 3690-01895 0020-21366
3700-01823 0020-21488 3690-01914 0020-26583
3700-01828 0020-21853 3690-01932 0020-29409
3700-01846 0020-22979 3690-01978 0040-20048
3700-01851 0020-22980 3690-02038 0040-20113
3700-01855 0020-25895 3690-02228 0240-76087
3700-01888 0020-25896 3690-04472 3630-01091
3700-01902 0020-25897 3700-02325 3630-01092
3700-01906 0020-29077 3700-02373 3690-01254
3700-01959 0020-29078 3700-02408 3780-02265
3700-01963 0020-29079 3700-02412 3700-02109
3700-02033 0020-76993 3700-02477 3700-02135
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