半導体製造装置関連 KAT株式会社

半導体製造業装置関連消耗部材及びメンテナンス事業

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余剰在庫販売


当社では、半導体製造装置向けの各種中古部品・余剰在庫品・生産中止部品を取り扱っております。


RF電源、Matching Box、TMP、Valve、ESC関連、各種Controller、PLC基板など

 

主な取扱品目

RF / DC電源・Controller

  • ENI
  • RFPP
  • KYOSAN
  • ADVANCE HIVOLT
  • SPELLMAN
  • GLASSMAN
  • SEN関連電源

 


Pump / Valve / TMP関連

  • EDWARDS TMP
  • SHIMADZU TMP
  • OSAKA Vacuum
  • VAT Valve
  • NSK Throttle Valve

 


ULVAC ZX-1000関連部品

  • RF Controller
  • RF Generator
  • TMP Controller
  • MFC
  • Gate Valve
  • ESC P/S
  • Manometer

 


LAM / DNS / Implant Parts

  • CPU Board
  • Servo Amp
  • Harmonic Parts
  • Wafer Edge Detector
  • Bellows
  • AC Servo Motor
  • Cool Plate / Hot Plate

ご案内

  • 在庫数量・在庫状況は随時変動しております。
  • 掲載中の商品でも売約済みの場合がございます。
  • 価格につきましてはお問い合わせください。
  • 中古品・2nd品を含むため、状態や仕様は個別確認となります。
  • 一部製品はO/H済み品もございます。

 
OSAKA Vacuum TG373MV-02  SHIMADZU  TMP-203LM
EDWARDS TMP Cont  SCU-800 SHIMADZUTMP Cont  EI-1003M
SHIMADZUTMP Cont  EI-1002M EDWARDS TMP  STP-H200C
VAT  65 NSK Throttle Valve  0010-39645