半導体製造装置関連 KAT株式会社

半導体製造業装置関連消耗部材及びメンテナンス事業

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SOCKETガスケット​

装置メーカー：Lam Research​      
使用プロセス：Etch/Ash​
装置名：Exelan Flex（DS・FX・GX・HXSeries）​

プレゼンテーション1
PM作業時間短縮可能
Socket, Flex GX Inner Electrode ​
LAM Parts No. : 839-086924-050		 Socket, Flex HX Inner Electrode ​
LAM Parts No. : 839-086924-057
Socket, Flex GX Outer Electrode ​
LAM Parts No. : 839-086924-045		 Socket, Flex HX Outer Electrode​
LAM Parts No. : 839-086924-058
Socket, Flex GX C Shroud ​
LAM Parts No. : 839-086924-046		 Socket, Flex HX C Shroud ​
LAM Parts No. : 839-086924-059
  Socket, Flex HX(+) Outer Elrctrode​
LAM Parts No. : 839-086924-083
  • 画像1
    Socketの詳細
  • 画像3
    SocketとCam Lockが結合して締結される原理
画像4
Clip, CAM, Shaft       
LAM Parts NO. : 715-101136-002

Clip, CAM, Shaft 
LAM Parts NO. : 715-101136-003
     
Clip, CAM, Shaft 
LAM Parts NO. : 715-101136-006
Parts List（例）
Socket_IE_Flex EX (839-086924-125)
Socket_IE_Flex FX (839-086924-050)
Socket_OE_Flex FX (839-086924-051)
Socket_C-Shroud_Flex FX (839-086924-052)
Socket_OE_Flex GX (839-086924-045)
Socket_C-Shroud_Flex GX (839-086924-046)
Socket_IE_Flex HX (839-086924-057)
Socket_OE_Flex HX (839-086924-058)
Socket_OE_Flex HX(+) (839-086924-083)
Socket_C-Shroud_Flex HX (839-086924-059)