装置メーカー：Lam Research
使用プロセス：Etch/Ash
装置名：Exelan Flex（DS・FX・GX・HXSeries）
PM作業時間短縮可能
| Socket, Flex GX Inner Electrode LAM Parts No. : 839-086924-050 |
Socket, Flex HX Inner Electrode LAM Parts No. : 839-086924-057 |
| Socket, Flex GX Outer Electrode LAM Parts No. : 839-086924-045 |
Socket, Flex HX Outer Electrode LAM Parts No. : 839-086924-058 |
| Socket, Flex GX C Shroud LAM Parts No. : 839-086924-046 |
Socket, Flex HX C Shroud LAM Parts No. : 839-086924-059 |
| Socket, Flex HX(+) Outer Elrctrode LAM Parts No. : 839-086924-083 |
