半導体製造装置関連 KAT株式会社

半導体製造業装置関連消耗部材及びメンテナンス事業

KAT株式会社 ≫ 各種PUMP修理及びO/H済み品 ≫

PUMP修理、O/H済み中古品
O/H KIT、ADSORBER等
消耗部品

CRYO PUMP/ DRY PUMP/TURBO PUMP
修理及びO/H済み中古品

エドワーズHTP-H301中古ポンプ_00
TURBO PUMP
☆ PFEIFFER: TMH-261/ TMH-1600C/ TMH-2101PCX etc.                             
☆ EDWARDS : STP-301C/ STP-1000C/ STP-H2000C etc.                          
☆ OSAKA
☆ LEYBOLD: TMP-361C               

CRYO PUMP
☆ BROOKS:  OB-8F/ OBIS-8F/ OBIS-250F/ OBIS-320FE etc.
☆ ULVAC: U-6H/U-8H/U-10PU etc.
 

PUMP O/H
O/H済み中古PUMP
PUMP O/H用KIT（BEARING、O-RING etc...)

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  • ターボポンプ O/H・Exchangeサービス及び中古機、O/H用KIT販売_コピー
    各サイズBEARING ORDER MADE可能
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    EBARA A70W O/H KIT

CTI-CRYOGENICS ADSORBER

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修理対応可能

新品供給可能

＊装置名、コンプレッサー型番確認必要

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    P5000 ROBOT

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    MFC,LFC

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    Controllers

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    ROBOT

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    ARM

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    RF電源

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    MOTOR、ACTUATOR

  • ソケット

    SOCKET

  • 基盤

    BOARD

  • ICチップ

    IC CHIP