半導体製造装置関連 KAT株式会社

■ RORZE

▶ Robot

・RR700

・RR701

・RR713

・RR304

・RR717

・RR757

▶ Controller

・CURR-2643-4

・CURR-0638-0

・CURR-0635-2

・CURR-6919-0

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■ MECS

▶ Robot / Aligner

・OF250 Aligner

・OFH100 (A) Aligner

・UTX-1000 (P)

・UTX-1002 (P)

・UTX-1100 (P)

・UTX-1110 (P)

・UTX-1200 / 1210 / 1220

・UTX-F1000HG

・UTC-103HG

・UTX-F5500 (P)

・UTX-FS6000

・UTW-F2120HG

・UTC-800 / 801P / 820Z / 100 / 121P / 842Z / 821

▶ Controller

・OF250 Controller

・OFH100 Controller

・CS1000 Series

・CS7000 Series

・CS7100 Series

・UTC-8xx Controller

・UTC-1xx Controller

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■ PRI / EQUIPE

・ATM-104

・ATM-105

・ATM-107

・ATM-407

・ESC-100

・ESC-210

・ESC-222

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■ Brooks Automation

・MGA7

・MAG8

・MGA9

・MAG LEAP

・ATR8

・RAZOR

・ESC212-S293 (6-0002-1621-SP)

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■ Kawasaki

・NS410

・3NS511

・3NS411

・3NX550

・3NX510

・3NX520

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■ Mitsubishi

・RV-5AJ

・CR2A-572

・RV-4FLM

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■ KLA

・Phoenix 3.0

・KT WT

・KTPA

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■ Yaskawa

・XU-RC350D

・XU-RCM6841

・XU-RCM9206

・XU-RCM9120

・XU-RSM53E0 / RSM5300 / RSM53E0A

・XU-6180

・XU-8910

・XU-CM6180A

・XU-CM8510

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■ Genmark

・GB4

・GB7S

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■ AMAT

・Endura II PVD XP Robot Driver

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■ LOGOSOL

・LPA812

・LPA312

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■ ISEL

・IWH-TA10

・IW-TA13S14

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■ MILARA

・H1

・H4

・Dual ARM

・H5

・ESC212-S293 (6-0002-1621-SP)

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■ Others

・Nikon

・Keytran Ⅲ