半導体製造装置関連 KAT株式会社

半導体製造業装置関連消耗部材及びメンテナンス事業

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BROOKS ROBOT O/H 

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MECS/RORZE/TAZMO/AITEC
ROBOT&Controller

RORZE Robot
Model type Repair O/H Exchange
RR700 Robot  
RR701 Robot  
RR713 Robot    
RR304 Robot    
RR717 Robot    
CURR-2643-4 Controller    
CURR-0638-0 Controller    
CURR-0635-2 Controller    
CURR-6919-0 Controller    
 
MECS ROBOT
Model type Repair/Maintenance Exchange
OF250Aligner
OF250 Controller
OFH100(A)Aligner  
OFH100(A)Controller  
UTX-1000(P)Robot  
UTX-1002(P)Robot  
UTX-1100(P)Robot
UTX-1110(P)Robot  
UTX-1200(P)Robot  
UTX-1210(P)Robot  
UTX-1220(P)Robot  
UTX-1xxx Controller
(CS1000)
UTX-F1000HG Robot  
UTX-F1000HG Controller
(CS7000)
 
UTC-103HG Robot  
UTC-103HG Controller  
UTX-F5500(P)Robot
UTX-F5500(P)
Controller(CS7000)
UTX-FS6000 Robot
UTX-FS6000
Controller(CS7100)
UTW-F2120HG Robot  
UTW-F2120HG
Controller(CS7100)
 
UTC-800(P)  
UTC-801P Robot
UTC-820Z Robot
UTC-100(P)Robot
UTC-121P Robot  
UTC-842Z Robot  
UTC-821 Robot  
UTC-8xx Controller
UTC-1xx Controller

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