半導体製造装置関連 KAT株式会社

半導体製造業装置関連消耗部材及びメンテナンス事業

半導体製造装置関連メンテナンス、改造、移設全般

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KAT株式会社について

  • 半導体製造装置関連各種消耗部品（Original新品、Second新品、O/H品等）をご提供いたします。
  • PUMP,MFC,基盤、Motor, Heater等の高品質かつ低価格（定額）修理サービスも長年の経験を以ってご対応しております。
  • 各種半導体製造装置に対して修理・保守メンテナンス・改造などサービスを承ります。
  • 半導体製造装置解体、移設作業承ります。

事業内容

半導体・液晶製造装置関連メンテナンス用消耗部品全般

（装置の改造・移設・立上・消耗部品の修理及び販売）

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MFC(MASS FLOW CONTROLLER)
IV(INJECTION VALVE)
修理、未使用新品、O/H済み品

Maker：
AERA, HORIBA, STEC,
UNIT, BROOKS, SAM, TYLAN　等


Model:
FC-260, FC-261
UFC-1661, UFC-8165
LX-1200, SEC-440J,SEC-V110DM ...
設備用各種パーツの販売_コピー

150ｍｍ、200mm、300mm設備用各種パーツの販売

種類：石英、セラミック、SIC、SUS,アルミ、樹脂等、純正品及び認証されたセカンド商品

ロボットアーム

各種 ロボット＆Arm定額修理・O/H・Exchange・機器販売

AMAT VACUUM ROBOT、BROOKS GENMARK KAWASAKI、 RORZE TDK、YASKAWA、 BROOKS AUTOMATION等

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RF電源、DC電源、Matching Box定額修理 ・Exchange・販売

ADTEC、ANELVA、ASTEX、COMDEL、DAIHEN、ENI、KYOSAN、PEARL、RFPP、TRAZAR NPP LANDMARK ASTEX MKS ENI TDK-LAMBDA等

ターボポンプ O/H・Exchangeサービス及び中古機、O/H用KIT販売_コピー

ターボポンプ O/H・Exchange
サービス、O/H用KIT販売

EBARA、EDWARDS、LEYBOLD、MITSUBISHI OSAKA、PFEIFFE、RIGAKU、SEIKOSEIKI、SHIMADZU、VARIAN、PHEIFFER等

クライオポンプ

クライオポンプ定額修理 O/H・Exchange・販売

CTI、SUZUKI SHOKAN、ULVAC

基盤

●各種基板修理

●Exchangeの提供

●基板作成

●V452新品供給可能

SBC Board、I/O Board、VGA Board　etc.

P5000、Enduraボード類実装テスト可能

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●HV MODULE ESC修理　
0010-39867
0010-09933
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●COLIBRI社製SPINDLE修理
FRD-015
基盤修理

その他の修理

INVERTER / 基盤ボード / MC1＆MC3 / MCA Heater / VALVE / CHILLER等修理

ICチップ

世界各メーカーのIC CHIP在庫販売

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